名稱

檢驗精度或范圍

廠家國別

說明

5維激光干涉儀

長度方向：0.02µm

角度：0.1＂

美國

成品檢測

三坐標測量儀

（也稱三次元測量儀）

系統分辨率：0.078µm

測量精度：2.8µm+L/300

合資（瑞典）

零件檢測、成品檢測

平面度檢測儀

0.01～0.001mm/m

中國

成品檢測

振動頻率檢測儀

0.06～1000Hz

中國

成品檢測

安規綜合測試系統

漏電流：0.01mA

接地電阻：0.01Ω

英國

成品檢測（電子類）

數顯測微自準直儀

0.1＂

中國

成品檢測

齒輪雙面嚙合綜合檢查儀

1µm

中國

零件檢測

萬能工具顯微鏡

1µm

中國

部分成品及零件檢測

洛氏硬度計

20～70HRC

中國

部分成品及零件檢測

機械振動臺

加速度:10g；頻率：10～80Hz

中國

成品檢測

高低溫循環實驗箱

-40～150°C

中國

成品檢測

常規檢測設備：包括000級大理石測試平臺、萬用表、示波器、光柵尺及數顯表、萬能角度尺、卡尺、刀口尺、

檢測零件

檢測項目

檢測范圍

檢測設備

常規機加工零件

物理尺寸及圖紙要求

所有產品

常規檢測設備

關鍵機加工零件

有關鍵指標的基準面、定位面的精度等

所有產品

三坐標測量儀

蝸輪蝸桿

材料

TBR系列、TBG系列等

第三方檢測機構

蝸輪蝸桿

硬度

TBR系列、TBG系列等

洛氏硬度計

蝸輪蝸桿

嚙合精度

限TBR系列

齒輪雙面嚙合綜合檢查儀

絲杠

物理尺寸及圖紙要求

所有產品

常規檢測設備

絲杠

同軸度

限CXP系列、SIN系列、XYR系列抽檢

三坐標測量儀、齒輪雙面嚙合綜合檢查儀

導軌及軸承

物理尺寸及圖紙要求

所有產品

常規檢測設備

導軌及軸承

基準面、定位面精度

所有產品

三坐標測量儀、常規檢測設備

常規外購零件

物理尺寸及圖紙要求

所有產品

常規檢測設備

關鍵外購零件

有關鍵指標的基準面、定位面的精度等

所有產品

三坐標測量儀

檢測項目

直線及升降滑臺

旋轉、擺動滑臺及對位平臺

檢測設備

行程

所有產品

所有產品

常規檢測設備

重復定位精度

所有產品

所有產品

常規檢測設備

微步運動重復定位精度

限CXP系列

/

激光干涉儀

回程間隙

所有產品

所有產品

常規檢測設備

背隙

CXP系列、KA系列、PA系列

TBR系列、TBG系列

推力計、千分表

微步運動回程間隙

限CXP系列

/

激光干涉儀

運動性能（包括速度、加速度等）

標稱該技術指標的產品

標稱該技術指標的產品

常規檢測設備

精度（定位精度）

CXP系列、KA系列、PA系列

限TBR系列、DDR系列

激光干涉儀

微步能力

限CXP系列

/

激光干涉儀或千分表

運動直線度

標稱該技術指標的產品

/

激光干涉儀或自準直儀

運動平行度

標稱該技術指標的產品

/

激光干涉儀或自準直儀

靜態平行度

標稱該技術指標的產品

標稱該技術指標的產品

千分表或三坐標檢測儀

俯仰

CXP系列、KA系列、PA系列

/

激光干涉儀或自準直儀

偏擺

CXP系列、KA系列、PA系列

/

激光干涉儀或自準直儀

端面（軸向）跳動

/

限旋轉滑臺

千分表

徑向跳動

/

限旋轉滑臺

千分表

大凈轉矩

/

限TBR系列

扭力扳手、測試工裝