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產(chǎn)品簡介
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三自由度并聯(lián)運(yùn)動臺 — Free3D.ZTxTy.070
產(chǎn)品特色
· 超安靜運(yùn)動
· 納米級分辨率
· 斷電位置自保持
· 并聯(lián)驅(qū)動結(jié)構(gòu)
· 內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器
· 靈活高的可定制方案
產(chǎn)品圖片&尺寸
產(chǎn)品參數(shù)
1 | 可選版本 | .HV,高真空版本； |
2 | 外形尺寸 | ?70×82 mm |
3 | 主體材料 | 標(biāo)準(zhǔn)版， .HV,.UHV鋁合金，鋼：800 g;,NM純鈦，陶瓷：460 g |
4 | *大垂直負(fù)載 | 5 kg |
5 | 中空孔徑 | ?10 mm |
6 | 運(yùn)動行程Z,θX,θY* | ±2.5 mm,±9°,±10° |
7 | 單向重復(fù)精度Z,θX,θY | ±0.2 μm,±8μrad,±8μrad |
8 | 最小步伐Z,θX,θY | 10 nm,1 μrad,1μrad |
9 | 傳感器類型 | 光學(xué)位置傳感器 |
10 | 位置傳感器分辨率 | 2 nm |
11 | 線纜&接頭 | 默認(rèn)：屏蔽線纜D-Sub15;.UHV版本： Kapton漆包線， D-Sub15(PEEK) |
12 | 控制器規(guī)格 | MC-Free3D |
三自由度并聯(lián)運(yùn)動臺 — Free3D.ZTxTy.100
產(chǎn)品特色
· 超安靜運(yùn)動
· 納米級分辨率
· 斷電位置自保持
· 并聯(lián)驅(qū)動結(jié)構(gòu)
· 內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器
· 靈活的可定制方案
產(chǎn)品圖片&尺寸
產(chǎn)品參數(shù)
1 | 可選版本 | HV，高真空版本；UHV，超高真空版本；NM，*全無磁版本； |
2 | 外形尺寸 | ?100 × 78 mm |
3 | 主體材料 | 標(biāo)準(zhǔn)版，+HV，+UHV 鋁合金，銅：1010 g；NM 純鈦，陶瓷：580 g |
4 | *大垂直負(fù)載 | 500 g |
5 | 中空孔徑 | ?20 mm |
6 | 運(yùn)動行程 Z, 6X, 6Y* | 0–20 mm, ± 30°, ± 30° |
7 | 單向重復(fù)精度 Z, 6X, 6Y* | ± 0.2 μm, ± 10 μrad, ± 10 μrad |
8 | 最小步優(yōu) Z, 6X, 6Y* | 10 nm, 1 μrad, 1 μrad |
9 | 傳感器類型 | 光學(xué)位置傳感器 |
10 | 位置傳感器分辨率 | 2 nm |
11 | 線纜 & 接頭 | 默認(rèn)：屏蔽線纜 D-Sub15；UHV 版本：Kapton 涂層線纜，D-Sub15 (PEEK) |
12 | 控制器規(guī)格 | MC-Free3D |
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